2026年2月，埃芯半导体X射线多功能量测设备ÅX-D200成功交付华北地区先进工艺晶圆厂客户。此次交付不仅是公司在华北区域头部晶圆客户版图的进一步拓展，更是埃芯半导体X射线量测设备在国内先进逻辑工艺晶圆厂的又一次成功落地。标志着公司在高端量测装备领域的技术实力与市场应用实现重要突破。
ÅX-D系列是埃芯半导体X射线晶圆量测设备的核心产品之一。ÅX-D系列采用X射线衍射技术（XRD）、X射线荧光光谱技术（XRF）、X射线反射技术（XRR），是国内首台X射线三合一量测机台，产品性能对标国际标杆。提供先进制程中对于单晶，多晶及超薄膜结晶及应力分析的复杂应用需求的解决方案，包括单晶如SiGe epi薄膜的锗含量、应力、位错密度、薄膜厚度等测量，以及多晶的晶相标定、结晶度、晶粒尺寸等测量。支持线下以及线上测量，适用于工艺开发，材料应力工程开发等复杂应用。埃芯X射线多功能量测设备ÅX-D系列已累计交付多家先进逻辑、先进存储、特色工艺客户。凭借其丰富应用场景及对标国际标杆产品的性能，已通过多家头部晶圆厂客户验证并实现复购订单，产品支撑国内最先进工艺节点良率管控及下一代产品演进。
埃芯半导体成立于2020年，以光学和X射线两条技术路线为底座，支撑光学晶圆量测、X射线晶圆量测、先进封装检测和科学仪器四个产品线，提供先进工艺晶圆量测、先进封装检测和物质科学研究三大解决方案。
AI驱动未来十年的半导体产业增长，埃芯持续聚焦先进制程与先进封装领域的高端量检测装备，致力于成为面向AI时代的半导体良率基础设施供应商。