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微观有尺度,产业有未来 | 埃芯与南科大共同探讨半导体前沿量检测技术
2026年4月16日,埃芯受邀参加南方科技大学半导体学院校企交流论坛,举办了一场以“半导体前沿晶圆量检测技术探讨”为主题的交流活动。
南方科技大学半导体学院校企交流论坛聚焦半导体与微电子领域的前沿科技、产业趋势与关键工程技术,致力于搭建学界与产业界深度对话的桥梁,助力破解“卡脖子”技术难题。南科大半导体学院程鑫院长主持此次交流活动,埃芯半导体总经理洪峰与南科大半导体学院师生围绕中国半导体产业发展现状、晶圆量检测关键技术及未来合作方向展开了深入探讨。

分享伊始,洪峰从中国半导体产业的发展进程出发,系统梳理了当前产业在先进制程、设备国产化以及工艺复杂度持续提升背景下面临的核心挑战。他指出,当前中国半导体产业正处于高增长与深变革并行的发展阶段,呈现出结构性突破与关键瓶颈并存的鲜明特征。一方面,国内半导体产业规模持续扩张,产业链体系日趋完善,设计、制造、封测、设备、材料等关键环节已初步形成协同发展的产业生态。本土晶圆厂与设备厂商进入放量周期,市场规模和全球占比持续提升。国产替代也在不断提速,行业正逐步从“可用”迈向“好用”,但距离“领先”仍有不小差距。在刻蚀、薄膜、清洗等关键环节,国产设备虽已取得一系列突破,但产业发展的重点正在从“单点突破”加速转向“整线验证”与“大规模导入”。另一方面,先进工艺领域仍面临诸多制约,部分关键环节仍存在明显“卡点”。在光刻机、先进制程能力、高端EDA工具等领域,与国际领先水平相比仍有较大差距。同时,半导体技术演进路径正加速向“系统工程”转型,竞争模式已不再局限于单台设备性能,而是升级为“设备 + 工艺 + 材料 + 软件”的协同优化能力比拼,这对工程能力、系统集成能力与产业协同效率提出了更高要求。

洪峰进一步分析,在外部环境复杂变化、产业链安全与自主可控要求持续提升的背景下,半导体设备与关键技术领域所面临的不确定性进一步加剧。这既倒逼产业加快构建自主可控的供应链体系,也使“自主可控 + 高端突破”成为中国半导体产业发展的核心主线。在这一过程中,时间、成本、效率与技术攻关难度等多重挑战将长期并存。

随着先进工艺不断向更小尺寸、更复杂结构和更多元材料体系演进,晶圆量检测技术正在进入一个全新的发展阶段。洪峰指出,当下晶圆制造已迈入亚纳米尺度、三维结构快速演进以及材料复杂度显著提升的新时期,量检测设备的角色也已从传统意义上的辅助工具,逐步演变为支撑先进制造的核心基础设施。在先进制程中,量检测不仅承担“看见”的任务,更承担“定义正确性”的职责。它直接决定工艺过程是否可控、结构参数是否准确、材料特性是否达标,并深度影响良率提升、工艺优化和量产稳定性。因此,量检测能力已成为衡量半导体制造水平和设备能力的重要指标之一。洪峰表示,随着光学、电子束、X射线等多种技术路线不断发展,并与人工智能算法、大模型能力深度融合,先进量检测技术正在实现非破坏、高精度与高通量的协同统一,成为推动产业升级的重要支撑能力。

不同于单纯的技术知识讲解,本次交流更强调一种以问题为导向、以应用为牵引的实践逻辑。结合典型案例,洪峰展示了量检测数据如何深度嵌入半导体工艺流程,参与关键工艺决策,并在纳米尺度上定义制造过程的“正确性”。从结构表征到工艺反馈,从参数提取到缺陷识别,量检测已不只是生产流程中的一个环节,而是贯穿研发、验证、优化和量产全过程的重要能力基础。这一分享也使在场师生更加直观地理解了:科研成果要真正走向产业应用,不仅需要扎实的物理模型和测量原理,更需要将其转化为稳定、可重复、可工程化部署的设备与系统能力。在交流尾声,洪峰结合自身长期扎根产业一线的实践经验,鼓励在场同学持续关注学科前沿与产业需求的交汇点。他表示,真正有价值的技术创新,往往诞生于对前沿问题的长期关注、对基础原理的深入思考,以及对现实需求的敏锐洞察。他希望同学们始终保持对未知世界的好奇心,在快速变化的技术浪潮中不断建立自己的判断力、方向感与工程意识,为未来走向科研前沿或产业一线打下坚实基础。

在互动交流环节,现场气氛热烈。多位老师和同学围绕量检测底层技术、前沿发展趋势、产业需求与人才培养等话题展开了深入探讨。南科大半导体学院老师对本次活动给予了高度评价:“洪总的分享兼具宏观视野与微观深度。埃芯不仅介绍了产业发展现状,更展现了真实的产业痛点。这种从实际问题出发、将物理模型转化为产业设备的工程思维,正是高校学生在科研训练中需要重点补齐的重要一环,也为后续校企联合培养工作带来了很大启发。”

本次校企交流活动,不仅是一场围绕产业趋势与关键技术的深度分享,更是埃芯半导体与南方科技大学在校企联动、协同育人方面的一次积极探索与“双向奔赴”。未来,埃芯半导体期待与南科大等高校持续深化交流合作,推动产教融合不断走深走实,让高校的学术智慧在产业土壤中生根发芽,也让产业一线的实践经验反哺高校人才培养,共同助力中国半导体产业高质量发展。欢迎更多优秀青年学子关注半导体、投身半导体,在服务国家战略需求的时代坐标中,开启属于自己的“芯征程”。
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